标准简介
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。英文名称：Gases for electronic industry--Boron trichloride
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 17874-2010代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量技术监督局
发布日期：1999-09-01
实施日期：2000-06-01
作废日期：2011-05-01
页数：平装16开， 页数：8， 字数：11千字
前言
工业气体与化学气体相关标准
