标准简介
本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。英文名称：Gases for electronic industry. High purity ammonia
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 14601-2009代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家技术监督局
发布日期：1993-08-26
实施日期：1994-07-01
作废日期：2010-05-01
页数：5页
前言
工业气体与化学气体相关标准
