标准简介
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜，也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层（TiC，TiCN，TiAlN等）。英文名称：Specifications of physical vapour deposition TiN films
标准状态：现行
中标分类：综合>>基础标准>>A29材料防护
ICS分类：机械制造>>表面处理和涂覆>>25.220.20表面处理
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2002-03-10
实施日期：2002-08-01
出版日期：2002-08-01
页数：平装16开， 页数：23， 字数：39千字
前言
材料防护相关标准
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