标准简介
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。英文名称：Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
标准状态：作废
替代情况：被GB/T 18867-2014代替
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2002-10-15
实施日期：2003-04-01
作废日期：2015-07-01
出版日期：2003-04-01
页数：平装16开， 页数：9， 字数：16千字
前言
工业气体与化学气体相关标准
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