标准简介
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。 由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。英文名称：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
标准状态：现行
中标分类：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.40化学分析
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2008-12-11
实施日期：2009-10-01
出版日期：2009-03-01
页数：8页
前言
本标准等同采用ＩＳＯ２０３４１：２００３《表面化学分析———二次离子质谱———用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法》。为便于使用，本标准对ＩＳＯ２０３４１：２００３做了下列编辑性修改：———删除了原国际标准的前言部分；———将本国际标准改为本标准。本标准的附录Ａ 为规范性附录。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。本标准主要起草人：马农农、何友琴、何秀坤。
