GB/T 11446.1-2013 电子级水

百检网 2022-10-21

标准简介

GB/T11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则。本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。
英文名称:Electronic grade water
标准状态:现行
替代情况:替代GB/T 11446.1-1997
中标分类:电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类:31-030
发布部门:国家质量监督检验检疫.
发布日期:2013-12-31
实施日期:2014-08-15
出版日期:2014-08-15
页数:12页

前言

GB/T11446预计结构如下:———GB/T11446.1 电子级水;———GB/T11446.2 (待定);———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则;———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法;———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法;———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法;———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法;———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法;———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。本部分为GB/T11446的第1部分。本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本部分代替GB/T11446.1—1997《电子级水》。本部分与GB/T11446.1—1997相比,主要有下列变化:———“3术语和定义”中增加了“离子交换树脂”、“无菌”和“pH”的定义(见第3章);———修改了“5要求”中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”级水的电阻率指标(见第5章);———修订了“5要求”中“EW-Ⅰ”、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”级水的微粒数指标(见第5章);———“5要求”中增加了“铁”和“铅”金属离子及“氟”、“亚硝酸根”和“溴”阴离子的要求和指标(见第5章);———“6 试验方法”中增加了“铁”、“铅”、“氟离子”、“亚硝酸根离子”和“溴离子”的检测方法(见第6章)。本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。本部分由中国电子技术标准化研究院归口。本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。本部分主要起草人:褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。本部分所代替标准的历次版本发布情况为:———GB/T11446.1—1989、GB/T11446.1—1997。

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