标准简介
本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。 本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。 其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。英文名称：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态：现行
中标分类：机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.20表面特征
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2014-09-30
实施日期：2015-04-15
出版日期：2015-04-15
页数：12页
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由中国科学院提出。本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。
