标准简介
本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。英文名称:Technical code for Chemical System of Electronic Factory
标准状态:现行
发布部门:住房和城乡建设部
发布日期:2012-06-28
实施日期:2012-12-01
出版日期:2012-12-01
页数:33页
前言
1 总则2 术语、缩略语3 化学品供应系统4 化学品回收系统5 化学品监控及安全系统6 相关专业设计7 工程施工及验收本规范用词说明引用标准名录附:条文说明