标准简介
本标准规定了俄歇电子能谱和部分类型的 X射线光电子能谱检测信号对应样品区域的确定方法。 本标准适用于俄歇电子能谱仪和具有以下条件的 X射线光电子能谱:入射 X光束激发的样品区域 大于分析器可检测到的样品区域;光电子从样品到分析器入口的过程中经过自由空间;装配有辅助电子 枪可以产生一束可变能量的电子束照射到样品上。英文名称：Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers
标准状态：现行
中标分类：仪器、仪表>>电工仪器仪表>>N26综合测试系统
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>电学、磁学、电和磁的测量>>17.220.20电和磁量值的测量
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
出版日期：2016-01-01
页数：12页
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环**材料技术有限公司。本标准主要起草人:李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔。
