标准简介
本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。英文名称：Test methods for metal releasing characteristics of getters
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 6626.1-1986;GB/T 9506.2-1988;GB/T 9506.6-1988
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：31.030
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2010-12-01
实施日期：2011-05-01
出版日期：2011-05-01
页数：12页
前言
本标准是将以下标准整合后进行修订的:———GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》;———GB/T9506.6—1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》;———GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。本标准与原标准相比主要变化如下:———取消释汞吸气剂释汞特性的测试方法中的名词术语,在规范性引用文件中新增GB/T4314《吸气剂术语》;———将GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》与GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的测试系统、方法合并;———取消试验设备中的无脂球阀;———将试验中测试室的尺寸按使用用途分类改为按金属释放量分类;———将释汞量、得钡量加热完后称重时间由15min更改为5min内;———释汞特性曲线的测试由400℃开始提高到500℃开始;———取消平均值、标准偏差的计算方法;———取消得钡量一致性测试;———取消测试报告格式;———将GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》中的蒸散曲线绘制方法中的起蒸时间的控制表述进行修订;———根据GB/T1.1—2000的要求进行格式修订。本标准代替下列标准:———GB/T6626.1—1986《释汞吸气剂性能测试方法 释汞吸气剂释汞特性的测试方法》;———GB/T9506.6—1988《掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》;———GB/T9506.2—1988《蒸散型钡吸气剂得钡量测试方法》。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位:南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所。本标准主要起草人:薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。本标准所代替标准的历次版本发布情况为:———GB/T6626.1—1986;———GB/T9506.6—1988;———GB/T9506.2—1988。
