标准简介
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。 分子式:WF6。 分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。英文名称：Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
标准状态：现行
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2015-12-31
实施日期：2016-07-01
出版日期：2016-07-01
页数：20页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。本标准起草单位:中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。本标准主要起草人:郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云。
