标准简介
本文件描述了用脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法测定颗粒硅中氢含量的方法。 本文件适用于流化床法颗粒硅中氢含量的测定，其他硅材料参照使用。 注： 本文件测定氢含量的范围取决于所用氢分析仪的量程，*大测定范围为氢量0.000 08 mg～2.5 mg。以质量分数（%）表示的氢分析仪的测定范围因称取样品量的不同而不同。例如，1 g样品*大测定范围的质量分数为0.000 008%～0.25%；0.15 g样品*大测定范围的质量分数为0.000 06%～1.66%。英文名称：Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method
标准状态：现行
中标分类：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
出版日期：2021-10-01
页数：12页
前言
元素半导体材料相关标准
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