标准简介
本标准是关于微机电装置的通用术语，科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合封装技术、测量技术和应用相关术语。本标准适用于微机电技术领域。英文名称：Electrotechnical terminology—Micro-electromechanical devices
标准状态：现行
中标分类：电工>>电工综合>>K04基础标准与通用方法
ICS分类：综合、术语学、标准化、文献>>词汇>>01.040.29电气工程 (词汇)
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
出版日期：2021-10-01
页数：32页
前言
基础标准与通用方法相关标准
