标准简介
本标准规定了SPM 漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。英文名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
标准状态：现行
中标分类：综合>>计量>>A60光学计量
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>光学和光学测量>>17.180.99有关光学和光学测量的其他标准
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2012-12-31
实施日期：2013-06-01
出版日期：2013-06-01
页数：20页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本标准由中国科学院提出并归口。本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。本标准起草单位:中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。本标准主要起草人:黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一。
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