标准简介
本标准规定了人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等单晶晶片等。本标准适用于人造石英、铌酸锂(LN)、钽酸锂(LT)、四硼酸锂(LBO)和硅酸镓镧(LGS)等单晶晶片。这些单晶晶片用作声表面波(SAW)滤波器和谐振器等基片材料。英文名称：Single crystal wafers for surface acoustic wave(SAW) device applications—Specifications and measuring methods
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子元件>>L21石英晶体、压电元件
ICS分类：电子学>>31.140压电器件和介质器件
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2013-12-17
实施日期：2014-05-15
出版日期：2014-05-15
页数：36页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准使用翻译法修改采用IEC62276:2005《声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法》。本标准在采用国际标准时进行了修改。这些技术性差异用垂直单线标识在它们所涉及的条款的页边空白处。在附录C中给出了技术性差异及其原因的一览表以供参考。本标准还作了下列编辑性修改:———删除了IEC标准前言。———在引用标准中,用GB/T3505《产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 术语、定义及表面结构参数》代替ISO4287;用GB/T2828.1《计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划》代替IEC60410;用GB/T3352《人造石英晶体 规范与使用指南》代替IEC60758;此外,还增加了GB/T6618《硅片厚度和总厚度变化测试方法》。———在图1中原文把第二基准面与基准面画成一样,是不正确的,产品加工中第二基准面应比基准面短,以便区分。本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出。本标准由全国频率控制和选择用压电器件标准化技术委员会(SAC/TC182)归口。本标准起草单位:中国电子科技集团第二十六研究所、中国电子科技集团德清华莹电子有限公司、北京石晶光电科技有限公司。本标准主要起草人:张小梅、蒋春健、吴兆刚、吴剑波、赵雄章、周洋舟。
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