标准简介
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求，试验方法、包装、标志、贮存、运输和安全。 本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。英文名称：Gas for electronic industry—Hexafluoroethane
标准状态：现行
中标分类：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体
ICS分类：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2017-07-31
实施日期：2017-11-01
出版日期：2017-07-01
页数：12页
前言
工业气体与化学气体相关标准
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