标准简介
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。 本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。不适用核能和军事应用。英文名称：Cleanrooms and associated controlled environments—Guidelines for airborne chemical contamination control
标准状态：现行
中标分类：医药、卫生、劳动保护>>劳动安全技术>>C70工业防尘防毒技术
ICS分类：13.040.35
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2018-06-07
实施日期：2018-10-01
页数：20页
前言
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