标准简介
本标准规定了使用原子力显微术（AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步骤和数据处理。本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测定也可参照执行。英文名称：Nanotechnology—Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy
标准状态：现行
中标分类：机械>>机械综合>>J04基础标准与通用方法
ICS分类：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>17.040.20表面特征
发布部门：国家市场监督管理总局.
发布日期：2018-12-28
实施日期：2018-12-28
页数：12页
前言
基础标准与通用方法相关标准
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