标准简介
本标准规定了对TDR-GY系列液封直拉法高压晶体炉的各项要求，包括品种规格、技术性能及订购和供货等。本标准适用于液封直拉法拉制Ⅲ-Ⅴ族（或Ⅱ-Ⅵ族）化合物单品的高压晶体炉。英文名称：High pressure crystal growing funaces-TDR-GY-series high pressure crystal growing furnaces by liquid-encapsulated Czohralski method
标准状态：现行
中标分类：电工>>电气设备与器具>>K61工业电热设备
ICS分类：机械制造>>工业炉>>25.180.10电炉
发布部门：国家发展和改革委员会
发布日期：2007-08-28
实施日期：2008-02-01
出版日期：2008-02-01
页数：12页
前言
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