标准简介
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。 本标准适用于普通型式的溅射离子泵。英文名称：Vacuum technology － Sputter-ion pumps
标准状态：现行
替代情况：替代JB/T 4081-1991;JB/T 4082-1991
中标分类：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
ICS分类：流体系统和通用件>>23.160真空技术
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
出版日期：2012-04-01
页数：2 页
前言
真空技术与设备相关标准
