标准简介
本标准规定了直流四探针电阻率测试仪（以下简称四探针测试仪）的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪，其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。本标准不包括四探针探头标准。英文名称：Generic specification for resistivity measuring instrument with DC four-point probe
标准状态：现行
中标分类：石油>>石油综合>>E01技术管理
发布部门：电子工业部
发布日期：1992-06-15
实施日期：1992-12-01
作废日期：2010-01-20
出版日期：1992-11-01
页数：23页
前言
GB 191 包装储运图示标志GB 2900.1 电工名词术语，基本名词术语GB 6615 硅片电阻率的直排四探针测试方法GB 11073 硅片径向电阻率变化的测试方法Si 1889 电子测量仪器可靠性试验方案SJ 2439 硅单晶棒片SJ/T 10315 四探针探头通用技术条件JJG 508 四探针电阻率测试仪检定规程
