标准简介
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。英文名称：Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
标准状态：现行
中标分类：冶金>>有色金属及其合金产品>>H68贵金属及其合金
ICS分类：冶金>>有色金属>>77.120.99其他有色金属及其合金
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
出版日期：2013-03-01
页数：12
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所。本标准主要起草人:刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、何双起、杨平。
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