标准简介
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。本标准适用于在<111>、<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的2μm～120μm硅外延层厚度的测量。英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size
标准状态：现行
替代情况：替代YS/T 23-1992
中标分类：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类：冶金>>77.040金属材料试验
发布部门：工业和信息化部
发布日期：2016-04-05
实施日期：2016-09-01
出版日期：2016-09-01
页数：12页
前言
金属物理性能试验方法相关标准
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