标准简介
本标准规定了集成电路用过氧化氢(H2O2)的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于集成电路制造过程中使用的过氧化氢。分子式：H2O2相对分子质量：34.01(按2011年国际相对原子质量)英文名称：Hydrogen peroxide for intergrated circuits
标准状态：现行
中标分类：化工>>化学试剂>>G64高纯试剂、高纯物质
ICS分类：化工技术>>无机化学>>71.060.20氧化物
发布部门：中关村集成电路材料产.
发布日期：2019-04-17
实施日期：2019-10-10
出版日期：2021-08-01
页数：24页
前言
高纯试剂、高纯物质相关标准
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