标准简介
本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，规定了规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂(成分：二氧化硅)为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长的石英坩埚。英文名称：Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
标准状态：现行
中标分类：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料
ICS分类：电气工程>>29.045半导体材料
发布部门：中国电子材料行业协会
发布日期：2021-07-15
实施日期：2021-12-25
出版日期：2021-08-01
页数：16页
前言
电子技术专用材料相关标准
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