标准简介
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。英文名称:Quartz tube covered in a film for PECVD
标准状态:现行
中标分类:建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃
ICS分类:玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品
发布部门:工业和信息化部
发布日期:2014-10-14
实施日期:2015-04-01
出版日期:2015-04-01
页数:7页
前言
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