外延片检测标准
GB/T 14139-2019 硅外延片
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 35308-2017 太阳能电池用锗基Ⅲ-Ⅴ族化合物外延片
GB/T 35310-2017 200 mm硅外延片
GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法
GB/T 30654-2014 Ⅲ族氮化物外延片晶格常数测试方法
GB/T 30655-2014 氮化物LED外延片内量子效率测试方法
GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片
GB/T 30855-2014 LED外延芯片用磷化镓衬底
GB/T 30856-2014 LED外延芯片用砷化镓衬底
GB/T 14139-2009 硅外延片
GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
GB/T 14015-1992 硅-蓝宝石外延片
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