晶片测试标准
GB/T 5238-2019锗单晶和锗单晶片
GB/T 13387-2009硅及其它电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T 16595-2019晶片通用网格规范
GB/T 16596-2019确定晶片坐标系规范
GB/T 25188-2010硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
GB/T 26066-2010硅晶片上浅腐蚀坑检测的测试方法
GB/T 26070-2010化合物半导体抛光晶片亚表面损伤的反射差分谱测试方法
GB/T 26071-2018太阳能电池用硅单晶片
GB/T 30118-2013声表面波(SAW)器件用单晶晶片规范与测量方法
GB/T 30866-2014碳化硅单晶片直径测试方法
GB/T 30867-2014碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
GB/T 30868-2014碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
GB/T 32278-2015碳化硅单晶片平整度测试方法
GB/T 32988-2016人造石英光学低通滤波器晶片
GB/T 34481-2017低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法
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