检测标准参考
GB/T 28654-2018工业三氯氢硅
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 30652-2014硅外延用三氯氢硅
GB 51034-2014多晶硅工厂设计规范 (附条文说明)
HG/T 4683-2014三氯氢硅泄漏的处理处置方法
T/CEMIA 015-2018光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范
T/FSI 003-2016气相二氧化硅生产用四氯化硅
YS/T 983-2014多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
YS/T 987-2014氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
YS/T 1059-2015硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
YS/T 1060-2015硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
YS/T 1156 0190 2607-2017多晶硅副产品 四氯化硅
YS/T 1392-2020氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
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