检测标准参考
GB/T 38867-2020电子工业用四氯化硅
GB 51034-2014多晶硅工厂设计规范 (附条文说明)
GOST 26239.6-156 0190 2607四氯化硅 二氯硅烷、三氯硅烷、四氯化硅、1 、3 、3 、3-四氯二硅氧烷、1 、1 、3 、3-四氯乙硅烷、五氯二硅氧烷、六氯二硅氧烷、六氯乙硅烷含量测定方法
GOST 26239.8-156 0190 2607半导体硅及其制取原料 二氯硅烷、三氯硅烷和四氯化硅含量测定方法
HB 5345-1986熔模铸造用硅酸乙酯
HG/T 5461-2018硅酸乙酯偶联剂
HG/T 5745-2020工业四氯化硅
SJ 2593-1985高纯四氯化硅
SJ 2594-1985高纯四氯化硅中硼及金属杂质的化学光谱分析方法
SJ 2595-1985高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法
T/CEMIA 001-2017光纤预制棒用四氯化硅
T/CEMIA 014-2018光纤预制棒用四氯化硅充装规范
T/CEMIA 015-2018光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范
T/FSI 003-2016气相二氧化硅生产用四氯化硅
YS/T 983-2014多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
YS/T 987-2014氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
YS/T 1060-2015硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
YS/T 1195-2017多晶硅副产品 四氯化硅
YS/T 1392-2020氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
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