标准简介
本文件规定了集成电路生产制造过程中废硫酸综合利用的技术要求、试验方法、检验规则、标志、随行文件、包装、运输、贮存、安全。本文件适用于集成电路生产制造过程中废硫酸的综合利用。英文名称：Technical requirements and test method for comprehensive utilization of waste sulfuric acid in integrated circuit manufacturing industry
标准状态：现行
中标分类：化工>>无机化工原料>>G11无机酸、碱
ICS分类：化工技术>>无机化学>>71.060.30酸
发布日期：2021-05-28
实施日期：2021-06-28
出版日期：2021-07-01
页数：8页
前言
无机酸、碱相关标准
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