标准号：DB37/T 2541.2-2014
中文标准名称：椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
英文标准名称：Test method for the thickness of silicon oxide on Si substrate by ellipsometer
标准类型：国家标准
发布日期：2014/9/30 12:00:00
实施日期：2015/4/15 12:00:00
中国标准分类号：纳米技术及应用国家工程研究中心
国际标准分类号：17.040.01
归口单位：全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门：中国科学院
起草单位：上海交通大学
起草人：金承钰
相近标准：20078473-T-491 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法;GB/T 20020-2013 气相二氧化硅;2
DB37/T 2541.2-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法
百检网 2021-08-06
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