高纯度多晶硅通过化学法制程产出

纯度较高的多晶硅可通过化学法制程产出。有一部分是直接利用二氧化硅来制备硅化合物，大部分化学法都需利用冶金级硅来当作硅化合物的原料。由于技术难度较高，中间牵涉到许多副产品的控制与处理，一般来说成本比物理法制程高。

在硅的化学法纯化过程中太阳能级多晶硅技术，需要转换成硅化合物的中间产物，再利用氧化还原或裂解反应，将硅化合物转成高纯度的多晶硅原料。

目前冶金法太阳能级多晶硅已经有少量量产，被正式列为太阳能料源的选项之一，但整个技术还是有改进空间。另外，热碳还原法与钠还原法的原料硅酸钠可直接从二氧化硅的化学反应途径而得，氟硅酸钠为肥料的副产品，其纯化技术不需经过冶金级硅的途径。成功量产的技术还是以管状沉积法、流体床反应法为主。管状沉积法是多晶硅生产技术，为硅甲烷与氢气加热分解后产生的多晶硅。流体床反应法可为连续式的生产，所使用的原料与原理和管状沉积法相同。这种方法的反应因炉内气流速度快，硅晶种反应面积较大，可解决沉积速度慢的问题。流体床反应以硅甲烷为原料，温度较低，可减少近30%的耗电量。