GB/T 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法

百检网 2022-10-21

标准简介

本标准规定了用栅控和非栅控二*管的电压?电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的原理、仪器与材料、样品制备、测量步骤和数据处理。本标准适用于外延层厚度不小于某一*小厚度值(见附录B)的相同或相反导电类型衬底上的n型或p型外延层,也适用于体材料。
英文名称:STANDARD test method for net carrier density in silicon epitaxial layers by voltage-capacitance of gated and ungated diodes
标准状态:作废
替代情况:被GB/T 14863-2013代替
中标分类:电子元器件与信息技术>>半导体分立器件>>L41半导体二*管
ICS分类:29.040.30
发布部门:国家技术监督局
发布日期:1993-01-02
实施日期:1994-10-01
作废日期:2014-08-15
页数:平装16开, 页数:12, 字数:19千字

前言

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