标准简介
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z 向放大倍率达到*大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。英文名称：Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using Si(111) monatomic step
标准状态：现行
中标分类：仪器、仪表>>仪器、仪表综合>>N04基础标准与通用方法
ICS分类：试验>>19.020试验条件和规程综合
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2011-12-30
实施日期：2012-05-01
出版日期：2012-05-01
页数：16页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准与ASTM E2530—2006《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法》(英文版)技术内容基本一致。考虑到我国国情,在采用ASTM E2530—2006时,本标准做了一些修改,有关技术性差异已编入正文中。附录A(规范性附录)中给出样品制备方法,附录B(资料性附录)中列出了本标准章条编号与ASTM E2530—2006章条编号的对照一览表,附录C(资料性附录)中给出了技术性差异及其原因一览表以供参考。本标准由中国科学院提出。本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。本标准起草单位:国家纳米科学中心。本标准主要起草人:朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁。
