标准简介
本标准规定了太阳能电池用硅片(以下简称硅片)厚度及总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。本标准适用于符合 GB/T26071、GB/T29055规定尺寸的硅片的厚度及总厚度变化的测量,分立式测量方法适用于接触式及非接触式测量,扫描式测量方法只适用于非接触式测量。在测量仪器准许的情况下,本标准也可用于其他规格硅片的厚度及总厚度变化的测量。英文名称:Test method for thickness and total thickness variation of silicon wafers for solar cell
标准状态:现行
中标分类:冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法
ICS分类:冶金>>77.040金属材料试验
发布部门:国家质量监督检验检疫.
发布日期:2014-07-24
实施日期:2015-02-01
出版日期:2015-02-01
页数:12页
前言
本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。本标准起草单位:东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、有研半导体材料股份有限公司、乐山新天源太阳能科技有限公司、青洋电子材料有限公司。本标准主要起草人:何紫军、冯地直、程宇、黎阳、陈琳、荆旭华、刘卓。