1总则
1.0.1为在电子工业废气处理工程设计中贯彻执行国家的有关法律、法规和规定，规范工程的设计内容和深度，提高工程的设计水平，达到保护环境、节约能源与资源、技术、经济合理、保证设计质量和安全的要求，制定本标准。
1.0.2本标准适用于新建、改建、扩建的电子工业废气处理工程设计。
1.0.3电子工业废气处理工程设计除应符合本标准外，尚应符合国家现行有关标准的规定。
2术语
2.0.1 封闭箱体 enclosure
实体的结构物，用于区隔具有排风设施的空问与其他有或无排风设施的空间。
2.0.2设备排风静压 exhausting static pressure of equipment
需排风设备封闭箱体内外两侧的压差，即设备封闭箱体内压力与设备所处环境压力之差．通常为负值，单位为Pa。
2.0.3 不相容 incompatible
化学物质经由非故意的结合，可能产生剧烈的反应或无法控制的状况，其释放的能量可能引起危险。
2.0.4 局部排风 local exhaust
局部排风的工作原理是在污染源或其邻近处捕集污染物，并将其排至外界环境，通常会经过空气净化或污染因子破坏的处理装置。
2.0.5 酸性废气 acid contaminated exhaust
企业厂区内燃料燃烧和生产工艺过程中产生的酸性污染物气休的总称，通常溶于水中会发生反应，形成弱酸，包括二氧化硫、硫化氢、氟化物、氯、氯化氢、磷酸、硝酸、硫酸等。
2.0.6 碱性废气 alkaline contaminated exhaust
生产工艺过程中产生的碱性污染物气体的总称，通常能与酸们用生成盐类化合物，包括氨、胺类化合物、氢氧化钠等。
2.0.7 特种废气 special contaminated exhaust
电子产品生产过程中化学气相淀积、扩散、外延、离子注人、千法刻蚀等工艺设备散发的含有毒性、腐蚀吐、氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物质的废气。
2.0.8 全氟化合物 perfluorocompounds
电子工业生产过程中化学气相淀积、干法刻蚀等工序使用的具有高全球变暖潜能（GWP）的氟化合物，包括全氟化合物和氢氟碳化物（FIFCs)．如四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷 、八氟环丁烷（c-C4F8 )、三氟化氮和三氟甲烷。上述的全氟化合物和氢氟碳化物在工业界统称为个氟化合物。
2.0.9立即危害生命和健康浓度 immediately dangerous to life and health
对生命产生即刻危害，并对健康造成不可逆的不良影响的环境浓度，或使人降低逃生能力的环境浓度。
2.0.10 限流阀 restricted-flow orifice
置于气瓶阀体内．把大流量限制在一定范围内的装置。
2.0.11 挥发性有机物 volatile organic compounds
沸点在50℃~250℃间，温度293. 15K时蒸汽压大于或等于 0.01kPa，或者能够以气态分子的形态排放到空气中的所有有机化合物，但不包括甲烷。
2.0.12 尾气处理设备 point-of-use abatement
安装在工艺生产设备附近，并对其排出的尾气进行处理的设务．通常也称排风预处理设备或就地尾气处理设备。
2.0.13 中央废气处理系统 centralized abatement system
通常位于废气系统的末端，在废气排人大气前对其所含的特定污染因子做终的消减处理，并达到规定的排放浓度或标准的处理系统。
2.0.14 转轮浓缩系统 rotor-concentrator system
挥发性有机物废气通过转轮的吸附区域后，其污染因子能被有效地吸附于转轮的吸附材料中，并在转轮的脱附区域被小流量高温空气脱附，使低浓度、大风量挥发性有机物废气浓缩为高浓度、小风量的挥发性有机物废气的系统。
2.0.15 蓄热氧化系统 regenerative thermal oxidizing system
通过蓄热床吸收高温烟气的热量，并预热未经处理的低温废气，吸热升温后的废气通过高温裂解破坏其污染因子结构的系统。
2.0.16 填料洗涤式废气处理设备 packed-bed scrubber
经山填料增加气液废气接触面积的废气处理设备，包括本体、填料层、除雾层、循环喷淋系统、循环泵、储液槽及控制系统等的废气处理设备，通常分为水平式和垂直式。
2.0.17 压人式废气处理系统 blow-tb rough abatement system
风机位于废气处理设备气流上游，废气处理设备相对于所处环境为正压的处理系统。
2.0.18 吸人式废气处理系统drawing out abatement system
风机位于废气处理设备气流下游，废气处理设备相对于所处环境为负压的处理系统
2.0.19 吹吸式废气处理系统 blow-draw abatement system
废气处理设备的进、出口均设置风机，废气处理设备相对于所处环境为微负压或微正压的处理系统。
2.0.20 时间加权平均容许浓度 permissible concentration lime weighted average
以时间为权数规定的8 h工作日、40 h工作周的平均容许接触浓度。
2.0.21 短时间接触容许浓度 permissible concentration short term exposure limit
在遵守PC-TWA前提下容许短时间（15 min)接触的浓度。
2.0.22 高容许浓度 maximum allowable concentration
工作地点空气中有害物质不应超过的浓度。
3基本规定
3.0.1 产生有害物质的工艺生产设备，宜采用自动化，井应采取密闭、隔离和负压操作措施。对生产过程中不可避免放散的有害物质在排放前，应采取净化处理措施，并应达到有关污染物排放标准。
3.0.2 排风系统应按废气种类和不相容原则设置。
3.0.3 下列情况之一时，应单独设置排风系统：
1 不同排风点不同的有害物质混合后能引起燃烧或爆炸；
2 混合后能产生或加剧腐蚀性或毒性；
3 混合后易使蒸汽凝结并聚积粉尘；
4 散发*毒和剧毒物质的房间和设备；
5 排风中含有燃烧爆炸性气体。
3.0.4 当排风点需求压力相差250Pa以上，且所需压力**值的较大值出现在系统后三分之一管路时，宜分别设置排风系统。
3.0.5 排气系统宜按照大产能时的各工艺设备排气量计算，并据此确定废气处理系统的风量和排风管尺寸。
3.0.6 排风系统设计应符合下列规定：
1 含有燃烧爆炸性物质的局部排风系统应按物理化学性质采取相应的防火防爆措施；
2 排风中亨，染物浓度或排放速率超过国家和地区污染物排放标准时，应进行净化处理。
3.0.7 排除有燃烧爆炸陛危险物质的排风系统风量应经计算确定，并应符合下列规定：
1 采用局部排风系统时，其风量应按在正常运行和事故情况下风管内燃烧爆炸性危险物质的浓度不大于爆炸下限的50%计算。
