标准简介
本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性*重要的性能参数。本标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的*低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范，不在本标准范围之内。英文名称：Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis
标准状态：现行
替代情况：替代GB/T 20726-2006
中标分类：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法
ICS分类：化工技术>>分析化学>>71.040.99有关化学分析方
发布部门：国家质量监督检验检疫.
发布日期：2015-10-09
实施日期：2016-09-01
出版日期：2016-09-01
页数：16页
前言
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。本标准代替GB/T20726—2006《半导体探测器X射线能谱仪通则》。本标准与GB/T20726—2006相比,主要变化如下:———中文名称修改为:微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法;———增加了部分术语和定义(见3.2、3.2.1、3.2.2、3.3~3.5、3.12、3.13);———修改了部分术语和定义(见3.8~3.11,2006年版2.4~2.7);———删除了仪器本底的术语和定义(见2006年版2.8);———增加了第五章:“其他性能参数的核查”(见第5章);———增加有助于理解本标准的必要的参考文献(见参考文献)。与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下:———GB/T21636—2008 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语(ISO23833:2006,IDT)。本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。本标准主要起草单位:中国科学院地质与地球物理研究所。本标准主要起草人:曾荣树、徐文东、毛骞、马玉光。本标准于2007年8月1日首次发布,本次为**次修订。
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