标准简介
本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。英文名称:Silica glass substrates for photomask
标准状态:现行
中标分类:建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃
ICS分类:玻璃和陶瓷工业>>玻璃>>81.040.30玻璃产品
发布部门:国家质量监督检验检疫.
发布日期:2017-09-07
实施日期:2018-08-01
页数:16页
前言
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