GB/T 31472-2015 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南 现行

标准号：GB/T 31472-2015
中文标准名称：X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
英文标准名称：Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
标准状态：现行,发布于2015-05-15; 实施于2016-01-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2015-05-15
实施日期：2016-01-01
中国标准分类号：17.220.20
国际标准分类号：17.220.20
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心;苏州晶瑞化学有限公司;中国电子技术标准化研究院;天津中环**材料技术有限公司
相近标准：20081115-T-469 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南; GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪检定方法; 20075691-T-469 X射线光电子能谱仪检定方法; 20201567-T-469 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南; 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南; GB/T 30704-2014 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南; 20121403-T-469 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南; GB/T 19500-2004 X-射线光电子能谱分析方法通则; 表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法; SJ/T 10714-1996 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法