GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法 现行

标准号：GB/T 30868-2014
中文标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
英文标准名称：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
标准状态：现行,发布于2014-07-24; 实施于2015-02-01; 废止
标准类型：国家标准
标准性质：推荐性
发布日期：2014-07-24
实施日期：2015-02-01
中国标准分类号：29.045
国际标准分类号：29.045
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所;中国电子技术标准化研究院
相近标准：20091226-T-469 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法; GB/T 30866-2014 碳化硅单晶片直径测试方法; 20091221-T-469 碳化硅单晶片直径测试方法; 碳化硅单晶; GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法; 20110062-T-469 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法; GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法; 20120289-T-469 碳化硅单晶片平整度测试方法; 20202830-T-469 碳化硅单晶位错密度的测试方法; 碳化硅单晶位错密度的测试方法