标准号：GB/T 24574-2009
中文标准名称：硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
英文标准名称：Test methods for photolumininescence analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
标准类型：H80
发布日期：2009/10/30 12:00:00
实施日期：2010/6/1 12:00:00
中国标准分类号：H80
国际标准分类号：29.045
引用标准：GB/T 13389;GB/T 24581
适用范围：本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。本标准用于检测单晶硅中含量为1×lO
GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
百检网 2021-07-13
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