GB/T 19403.1-2003 半导体器件 集成电路 第11部分;第1篇：半导体集成电路 内部目检 (不包括混合电路)

标准号：GB/T 19403.1-2003
中文标准名称：半导体器件 集成电路 第11部分;第1篇：半导体集成电路 内部目检 (不包括混合电路)
英文标准名称：Semiconductor Devices Integrated Circuits Part11:Section 1:Internal visual examination for semiconductor integrated circuits(excluding hybrid circuits)
标准类型：L56
发布日期：2003/11/24 12:00:00
实施日期：2004/8/1 12:00:00
中国标准分类号：L56
国际标准分类号：31.200
适用范围： 进行内部目检的目的是检验集成电路的内部材料、结构和工艺，验证与适用的规范要求的一致性。 通常应在封帽或密封之前对器件进行****内部目检。以发现可能导致器件在正常使用时失效的内部缺陷并剔除相应器件。本试验也可按抽样方式在封帽之前使用，以确定承制方对半导体器件质量控制和操作程序的有效性。