GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法

百检网 2021-07-19
标准号:GB/T 19921-2005
中文标准名称:硅抛光片表面颗粒测试方法
英文标准名称:Test method of particles on silicon wafer surfaces
标准类型:H81
发布日期:2005/9/19 12:00:00
实施日期:2006/4/1 12:00:00
中国标准分类号:H81
国际标准分类号:77.040.01
引用标准:ASTM F 1620-1996;SEMI M1-0302;ASTM F 1621-1996
适用范围: 本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。 本标准适用于硅抛光片,也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。 本标准也可适用于观测硅抛光片表面的划痕、橘皮、凹坑、波纹等缺陷,但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能,并与检测时的初始设置有关。 注:本标准涉及的方法通常选用波长(48~6 33)nm的激光光源,*常用的是488nm的氩离子激光器;目前可测量的*小值颗粒直径为0.06μm或更小些。

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