***(百检网)介绍一种超高纯度的特种塑料材料,能够满足医药加工与分析化学和清洁室等应用的较严格纯度要求。为聚合物纯度设定了较新标准,是专门制造的聚合物。 特种塑料适用于半导体蚀刻加工过程,具有**的耐等离子腐蚀性能,它能够耐受半导体生产过程所用的各种湿化学品。在样品测试中的全部气体混合物中,该塑料表现出较聚酰亚胺优胜的耐久性。 新材料不仅具有标准级别产品的全部化学性能,而且不可能在高温或真空环境下生成气体或析出任何液体。实验中把该材料在100°C 下加热30分钟,其释放的挥发性有机物测试结果为零。由于该种塑料聚合物具有固有的稳定性,并采用独特的生产方法,因此其释气性能*低。超纯水中阳离子和阴离子析出实验的结果也证实,它能够满足这个行业的可萃取物的限制要求。特种塑料不仅具有**的整体纯度,而且其聚合物析出也*少。 与大多数聚酰亚胺材料不同的是,该材料树脂提供设计与生产自由度,可使用多种方式加工,并可帮助降低生产成本。此外,与聚酰亚胺相比,新材料的金属含量较低,其销售品种限定多种金属的含量不超过1 ppm。半导体制造商非常关心其材料中的杂质水平,尤其是金属离子的水平,因为它们可能迁移到晶圆上,造成缺陷,以致降低产量。