扫描电镜

扫描电子显微镜主要用于固体样品微区表面形貌观察与成像。适用于化学、物理、地质、冶金、矿物、环境等样品观测。地质样品如岩石、矿物样；生物样品如种子、花粉、微生物样；材料样品如陶瓷、高分子样；环境样品如土壤、沉积物样等。

主要特点：

1、分辨率小于3.0nm (30kV，高真空，钨灯丝，二次电子);小于4.0nm(钨灯丝）

2、加速电压*小范围为0.5～30KV，放大倍数范围为20～300000 倍;

3、高真空度为1.5×10-3Pa;低真空度为6～270Pa;

4、扫描模式为点、线、面、选区而且能谱仪Si(Li)探测器的分辨率优于133eV;能谱探测器的有效面积为10mm2;能谱元素分析范围为B5～U92

5、样品必须是固体，且无毒、无放射性、无污染、无磁、无水分，直径小于200mm，高度小于小于75mm，粉末样品要特殊处理，对不导电和导电性能差的样品要进行镀膜。