四源金属蒸镀腔-手套箱系统

百检网 2021-11-11

l.1、*限真空(空载 ):≤5×10^-5Pa 1.2、工作真空:≤5×10^-4Pa(充入干燥纯氮气条件下 ,分子泵正常工作30分钟内达到) 1.3、真空室体结构:于前、后两面均设置大口径型活动密封门。使之具备和手套箱贯通,也可独立密封实施薄膜沉积的双重结构条件

主要包括手套箱系统和热蒸发镀膜系统，主要沉积金属薄膜，两个系统可以独立使用，也可以联合使用

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