场发射扫描电子显微镜

百检网 2021-11-11

1kv分辨率可达1.3nm；日立专利的ExB设计，不需喷镀，可以直接观测不导电样品； Upper和Top探头均可选择接受二次电子像或背散射电子像；可以根据样品类型和观测要求选择打开或关闭减速功能；标配有冷指、电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能；仪器的烘烤维护及烘烤后的透镜机械对中均可由用户自行完成。

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