保证分辨率 3.0nm（30kV） 8.0nm（3kV） 15nm（1kV） 放大倍数 5至300,000x 加速电压 0.3kV至30kV 电子枪 工厂预对中灯丝 聚光镜 变焦聚光镜 物镜 锥形物镜 样品台 全对中样品台 X-Y 125mm-100mm Z 5mm至80mm 旋转 360° 倾斜 －10°至＋90° 排气系统 （高真空模式） DPx1，RPx1 排气系统 （低真空模式） DPx1，RPx2
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1、检测行业全覆盖，满足不同的检测；
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