磁控溅射镀膜系统

百检网 2021-11-11

具有集电弧离子技术非平衡磁控溅射技术中频栾生磁控溅射技术离子增强气相沉积技术为一体的复合镀膜功能，可以镀制类金刚石膜，金属氮化物薄膜，金属碳化物薄膜等硬质薄膜，各种金属膜，装饰膜及多种光学膜，可满足多种功能薄膜材料方面的理论和实际应用研究。

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